芭乐视频app在线官网入口设备的电极板不对称可以实现等离子刻蚀吗？
文章导读：实现材料和产品表面的等离子刻蚀，是芭乐视频app在线官网入口设备可实现的其中一项作用，可以通过对电极的结构、面积、馈入方式调整，来满足具体的刻蚀要求，在芭乐视频app在线官网入口设备的电极板不对称的情况下，该如何实现等离子刻蚀？往下看。
实现材料和产品表面的等离子刻蚀，是芭乐视频app在线官网入口设备可实现的其中一项作用，可以通过对电极的结构、面积、馈入方式调整，来满足具体的刻蚀要求，在芭乐视频app在线官网入口设备的电极板不对称的情况下，该如何实现等离子刻蚀？
芭乐视频app在线官网入口设备进行刻蚀处理，在半导体行业内较为多见，通入的气体一般为特殊的工艺气体，可产生具有腐蚀性的等离子体基团，从而与硅晶圆或其他相关产品未经掩膜遮挡的表面进行反应，将所需要的线路刻蚀出来，在这个过程中就需要注意控制离子能量的电极压降的定标。下图为芭乐视频app在线官网入口设备阴极和阳极电极板面积不对称时的放电示意图。
其电极的压降和表面积之间的关系为VA/VB=（SB/SA）α，而指数α在假定的理想状态的范围基本为1.0至2.5之间，因此这一数值可以作为参考，但作为依据还是有所欠缺，而在圆形电容耦合高频放电过程中，指数α也可视为在上述范围之内。下图为芭乐视频app在线官网入口设备的圆柱形容性RF放电电极板电压的示意图。
用以工业应用的圆柱形容性耦合射频芭乐视频app在线官网入口设备，其反应腔体往往采用的是圆柱形的石英玻璃，通过在玻璃外包裹一层铜质电极，可以用来处理对均匀性要求不是很高的产品，比如小尺寸的晶圆。圆柱形容性耦合射频芭乐视频app在线官网入口设备的放电状态如下图所示。
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